XVision300 系列FIB-SEM双束、三束系统_聚焦离子束(FIB)相关信息_精工盈司电子科技（上海）有限公司

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XVision300 系列FIB-SEM双束、三束系统

产品型号： XVision300系列

有效期：长期有效

所在地：上海市浦东新区

配送信息：

无

供应数量：不限

了解详情，请立即咨询！

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详细说明

XVision300 系列FIB-SEM双束、三束系统

产品型号：XVision300系列

产品特点：

　　1.在低加速电压下进行高品质的TEM样品制备　　2.搭载了高分辨SEM，在TEM样品制备过程中可实现适时检测　　3.采用较大的有效离子束电流，大大提高了断面加工以及TEM样品制备的效率　　4.操作简便的TEM样品制备支持功能　　5.根据样品的处理方法不同，XVision300系列分为4种机型

产品介绍：

以精工纳米的SMI3000系列为基础，结合了拥用世界性能的蔡司高分辨Gemini电子显微镜筒，与以往的机种相比，大大减小了加工对样品的损伤，同时可实现高精度的加工以及3nm高分辨率的SEM观察。

规格

	FOUP搬送型	HOLDER搬送型
双束装置(FIB-SEM)	XVision 300 DB/F	XVision 300 DB/H
三束装置(FIB-SEM-Ar)	XVision 300 TB/F	XVision 300 TB/H

主要配置

对应样品尺寸

300mmφ JEIDA规格晶圆

样品台

5轴自动对中样品台

“FIB”

加速电压

1～30kV

二次电子分辨率

4nm

有效束流

0.15pA～45nA

“SEM”

加速电压

1～30kV

二次电子分辨率

3nm

有效束流

4pA～20nA

“Ar”

加速电压

0.5～1kV

电流

10nA@1kV

※ 详细的询问请向营业员咨询

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